[发明专利]用于基板的载具有效
| 申请号： | 201380074727.8 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN105189812B | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | O·海梅尔;R·林德伯格;H·吴尔斯特;C·灿格尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C03C17/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种于真空处理的基板工艺腔室中支撑基板(101)的载具。载具包括基板固定组件，其中基板固定组件包含一或多个固定单元(120)，各固定单元包括边缘接触表面(121)，配置用以接触基板的边缘并定义接触位置；第一固定元件(122)，具有第一表面(124)，所述第一表面配置用以接触基板的第一基板表面(102)，其中所述第一固定元件自接触位置延伸第一长度L1，所述第一长度实质上平行于第一基板表面；第二固定元件(123)，具有第二表面(125)，所述第二表面配置用以接触基板的第二基板表面(103)，其中所述第二基板表面相对于所述基板的所述第一基板表面，且其中所述第二固定元件自接触位置延伸第二长度L2，所述第二长度实质上平行于第二基板表面；力元件(130)，用于以第一及第二固定元件的至少一个向基板提供固定力(140)；其中第一长度及第二长度中较短的长度与固定力的组合提供力矩(140)；其中一或多个固定单元提供每基板边缘长度单位10Nmm或更高的力矩。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 | ||
【主权项】：
一种在基板工艺腔室(600)中用以支撑基板(101)的载具(100)，包括：基板固定组件，其中所述基板固定组件包括一或多个固定单元(120)，其中各固定单元(120)包括：边缘接触表面(121)，配置用以接触所述基板(101)的边缘及定义接触位置；第一固定元件(122)，具有第一表面(124)，所述第一表面配置用以接触所述基板(101)的第一基板表面(102)，其中所述第一固定元件(122)自所述接触位置延伸第一长度(L1)，所述第一长度实质上平行于所述第一基板表面(102)；第二固定元件(123)，具有第二表面(125)，所述第二表面配置用以接触所述基板(101)的第二基板表面(103)，其中所述第二基板表面(103)相对于所述基板(101)的所述第一基板表面(102)，且其中所述第二固定元件(123)自所述接触位置延伸第二长度(L2)，所述第二长度实质上平行于所述第二基板表面(103)；力元件(130)，用以利用所述第一固定元件(122)及所述第二固定元件(123)的至少一个向所述基板(101)提供固定力(140)；其中，所述第一长度(L1)及所述第二长度(L2)之中较短的长度(L1，L2)与所述固定力(140)的组合提供力矩；其中，所述一或多个固定单元(120)提供每基板边缘长度单位为10牛顿·毫米或更高的力矩。
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