[发明专利]加工工具用硬质被膜及硬质被膜被覆金属加工工具

摘要

本发明提供一种兼备优异的耐磨损性及耐熔敷性和平滑性的加工工具用硬质被膜。根据本实施例的固着于滚压丝锥(10)的硬质被膜(30)，以具有NaCl型晶体结构的相为主相的TiCrMoWV的氧碳化物、氧氮化物、或氧碳氮化物因具有氧的导入产生的100nm以下的微细晶体，所以硬质被膜的表面极平滑，获得低摩擦系数，因此，可以兼备耐磨损性及耐熔敷性和平滑性，不仅耐磨损性及耐熔敷性，且平滑性也优异，低摩擦系数低，所以工具寿命增加。

主权项

一种工具用硬质被膜，其特征在于，其是被覆设置于工具(18)的表面的工具用硬质被膜(30)，其为通过导入氧而具有微细晶体的以具有NaCl型晶体结构的相为主相的TiCrMoWV的氧碳化物、氧氮化物、或氧碳氮化物；所述TiCrMoWV的氧碳化物是表示为(TiaCrbMocWdVe)1‑x‑yCxOy的物质，其原子比为0.2≤a≤0.7、0.01≤b≤0.4、0.05≤c≤0.5、0＜d≤0.05、0＜e＝1‑a‑b‑c‑d≤0.05、0.3≤x+y≤0.6、0＜y≤0.15；所述TiCrMoWV的氧碳氮化物是表示为(TiaCrbMocWdVe)1‑x‑y－zCxNyOz的物质，其原子比为0.2≤a≤0.7、0.01≤b≤0.4、0.05≤c≤0.5、0＜d≤0.05、0＜e＝1‑a‑b‑c‑d≤0.05、0.3≤x+y+z≤0.6、0＜y≤0.5，0＜z≤0.15；所述TiCrMoWV的氧氮化物是表示为(TiaCrbMocWdVe)1‑x‑yNxOy的物质，其原子比为0.2≤a≤0.7、0.01≤b≤0.4、0.05≤c≤0.5、0＜d≤0.05、0＜e＝1‑a‑b‑c‑d≤0.05、0.3≤x+y≤0.6、0＜y≤0.15。