[发明专利]薄膜群、薄膜粒子以及制造方法

摘要

本发明涉及薄膜群和所述薄膜群制造方法以及、薄膜粒子和所述薄膜粒子制造方法，所述薄膜群包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料，所述薄膜层在最初蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上，与所述被涂层材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上，所述薄膜粒子从所述薄膜群去除所述被涂层材料的一部分以上后，经过进一步进行粉碎的过程来制造，根据本发明能够解决先行技术中的装置的制造问题、维修问题、薄膜本身的污染问题、浪费能源等所有问题。

主权项

一种薄膜群，其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料，所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上，在与所述被涂层材料混合的状态下最终被粉碎的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上，其特征在于，所述薄膜层是通过物理蒸镀方法形成的薄膜层，蒸镀时所述薄膜层的至少一部分形成在所述被涂层材料的表面上，所述薄膜层中的至少一层是所述被涂层材料在原位状态下进一步供应在至少其他一层薄膜层上后，通过物理蒸镀方法形成在所述进一步供应的被涂层材料的一部分以上，所述进一步供应的被涂层材料中的至少一部分是通过不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而在原位状态下以具有保持所述被涂层材料的流动性的粘度的状态向所述被涂层材料施加机械力来引起变位而供应，所述薄膜层的厚度为0.1纳米以上50微米以下，所述被涂层材料为流动性物质或是可塑性物质，所述被涂层材料的至少一个表面物质在25℃下饱和蒸汽压为100托以下，同时软化点为650℃以下，在完成所述薄膜层涂层的状态下，所述被涂层材料其厚度比所述薄膜层的厚度厚，粘度为10cps以上，混合在所述薄膜层之间的被涂层材料中至少一部分也不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而以保持被涂层材料的流动性的状态引起变位，在原位状态下进行混合，混合在所述至少两层薄膜层之间的被涂层材料的混合工序是在所述薄膜层中的至少一层薄膜层形成在所述被涂层材料的表面后，在原位状态完成，在所述原位状态下与薄膜层一起混合的被涂层材料是在混合过程中薄膜层被粉碎并在被涂层材料内无秩序地混合的状态，不采用在溶剂内溶解被涂层材料的方式，为了无需溶剂地引起保持能够流动的粘度的被涂层材料的变位而通过至少向所述被涂层材料施加机械力进行混合，最终所述薄膜群的薄膜层中的至少一部分被粉碎为薄膜蒸镀工序中面积的1/100以下来使用，所述原位状态是在真空容器内部保持真空的状态，即不将薄膜层或薄膜群卸载到真空容器外部的状态。