[发明专利]X线装置及构造物的制造方法在审
| 申请号： | 201380076108.2 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN105452804A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 渡部贵志;丹尼尔希尔顿;山姆豪克 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康;尼康计量公众有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/04 | 分类号： | G01B15/04;G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种可抑制检测精度降低的装置及构造物的制造方法。检测装置(1)是对被测定物(S)照射X线并检测通过被测定物的X线的装置，包含射出X线的X线源、保持被测定物的桌台(3)、检测从X线源射出并通过被测定物的穿透X线的至少一部分的检测器(4)、以及一边支承桌台一边引导桌台往与X线源的光轴(Zr)平行的方向移动的第1引导装置(5A)及第2引导装置(5B)。检测装置，其与光轴(Zr)平行、且用以规定桌台的移动的平面的引导面(GP)，通过检测器的穿透X线的检测区域(DR)内。 | ||
| 搜索关键词： | 线装 构造 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种X线装置，是对被检物体照射X线并检测通过该被检物体的X线，其特征在于具备：X线源，从发光点射出X线；载台，支承该被检物体；检测器，检测从该X线源射出、通过该被检物体的穿透X线的至少一部分；移动装置，为改变该发光点与该被检物体间的距离、或该发光点与该检测器间的距离的至少一方的距离，而使该X线源、该载台或该检测器之一作为移动物体移动于第1方向；以及第1测量装置及第2测量装置，是测量在该第1方向的该移动物体的位置；该第1测量装置与第2测量装置，是配置在该移动装置的可移动区域中与该第1方向交叉的第2方向。
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