[发明专利]荧光X射线分析装置

摘要

本发明以提供一种能够抑制原子序数不足23的轻元素的分析精度的下降，并谋求分析腔室内的氦气置换作业的效率化的荧光X射线分析装置为课题。本发明的荧光X射线分析装置包括：X射线球管(12)，其用于对具有X射线通过口(141)的试样台(14)上的试样S照射一次X射线；检测器(13)，其用于对从试样S发出的荧光X射线进行检测；分析腔室(16)，其具有来自X射线球管(12)的一次X射线的导入口(17)及检测器(13)的检测口(181)，并在内部具有从导入口(17)朝向X射线通过口(141)的一次X射线的光路及从X射线通过口(141)朝向检测口(181)的荧光X射线的光路；第一及第二导入管(201)及(202)，其用于将从氦气瓶(22)供给的氦气通过导入口(17)及检测口(181)导入到分析腔室(16)内；流量控制阀(24)，其对在第一及第二导入管(201)、(202)中流动的氦气的流量进行控制。

主权项

一种荧光X射线分析装置，其特征在于，包括：a)X射线源，其用于对试样照射一次X射线；b)检测器，其用于对通过照射所述一次X射线而从所述试样发出的荧光X射线进行检测；c)分析腔室，其具备从所述X射线源发出的一次X射线的导入口及所述检测器的检测口，并封闭包含连结所述导入口和所述试样的一次X射线的光路、和连结所述试样和所述检测口的荧光X射线的光路的空间；d)第一导入单元，其用于通过所述导入口将氦气导入到所述分析腔室内；e)第二导入单元，其用于通过所述检测口将氦气导入到所述分析腔室内；以及f)流量控制单元，其对通过所述第一导入单元及所述第二导入单元导入到所述分析腔室内的氦气的流量进行控制。