[发明专利]元件保持状态检测方法及元件安装装置

摘要

设有用于将元件(P)吸附于头的吸嘴和基准标记，并且具备零件相机，该零件相机在透镜的视野内设置子透镜且能够通过透镜(主透镜部)拍摄元件(P)，并且通过透镜及子透镜(子透镜部)拍摄基准标记。根据由主透镜部拍摄校准板(CP1)而获得的图像来测定主透镜部的变形校正值，并且根据由子透镜部拍摄校准板(CP2)而获得的图像来测定子透镜部的变形校正值，并作为变形校正表预先进行存储。并且，在元件安装时，当由零件相机同时拍摄保持于吸嘴的元件(P)和基准标记时，使用变形校正表来校正所获得的图像，并基于校正图像来检测元件(P)的吸附状态。

主权项

1.一种元件保持状态检测方法，以具有通过第一透镜将被摄体成像于二维排列多个受光元件而成的拍摄元件的第一拍摄区域和通过所述第一透镜及第二透镜将被摄体成像于所述拍摄元件的第二拍摄区域的方式构成拍摄单元，通过安装于头的保持部件保持元件，在所述第一拍摄区域内拍摄保持于所述保持部件的元件，并且在所述第二拍摄区域内拍摄设于所述头的基准标记，由此同时拍摄所述元件和所述基准标记，基于通过拍摄所述元件和所述基准标记而获得的图像来检测保持于所述保持部件的元件的保持状态，所述元件保持状态检测方法的特征在于，在判定所述保持状态之前，在所述第一拍摄区域内拍摄变形测定用被摄体，基于通过拍摄所述变形测定用被摄体而获得的图像来测定所述第一拍摄区域的变形成分并进行存储，并且，在所述第二拍摄区域内拍摄变形测定用被摄体，基于通过拍摄所述变形测定用被摄体而获得的图像来测定所述第二拍摄区域的变形成分并进行存储，当所述元件保持于所述保持部件时，通过所述拍摄单元同时拍摄所述元件和所述基准标记，基于所存储的所述第一拍摄区域的变形成分来校正在所述第一拍摄区域内拍摄所述元件而获得的图像，并且基于所存储的所述第二拍摄区域的变形成分来校正在所述第二拍摄区域内拍摄所述基准标记而获得的图像，基于校正后的所述图像来检测保持于所述保持部件的元件的保持状态。