[发明专利]光栅耦合结构有效
申请号: | 201380080460.3 | 申请日: | 2013-10-29 |
公开(公告)号: | CN105765421B | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 费边·鲁托弗;马丁·斯塔尔德;纪尧姆·巴塞 | 申请(专利权)人: | 瑞士CSEM电子显微技术研发中心 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G02B6/293 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 徐川;姚开丽 |
地址: | 瑞士纳*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | 本发明涉及一种光栅耦合器。该光栅耦合器包括:光学基底,设置为传递光束;以及,衍射光栅,设置在所述光学基底的表面上或嵌入在所述光学基底的表面中,所述衍射光栅包括衍射光栅元件,每个衍射光栅元件包括不对称地设置在所述衍射光栅元件上的涂层。所述光栅耦合器进一步被设置为满足以下条件:(n1x sin(|α|)+n2)/λx P>1,其中,n1为相对于所述衍射光栅元件的入射光侧的光学介质的折射率,n2为相对于所述衍射光栅元件的衍射光侧的光学介质的折射率,|α|为入射在所述光栅耦合器上的光束的入射角的绝对值,λ为衍射光的波长,以及P为所述衍射光栅元件的周期。 | ||
搜索关键词: | 光栅 耦合 结构 | ||
【主权项】:
1.一种光栅耦合器(1),包括:光学基底(2),设置为传递光束;以及衍射光栅(3),设置在所述光学基底(2)上或嵌入在所述光学基底(2)中,所述衍射光栅(3)包括基本上设置在所述衍射光栅(3)的平面(A)中的衍射光栅元件(4),所述衍射光栅元件(4)针对自身每个横截面来限定所述平面(A)的法线(B),所述法线(B)将所述横截面分隔成两个基本对称的部分,并且所述法线(B)进一步将所述衍射光栅元件(4)分成第一侧(FS)和第二侧(SS),所述第一侧(FS)基本上位于从所述衍射光栅(3)传递的衍射光束的具有最大强度的传播级的前进方向上,所述第二侧(SS)被定向为与所述前进方向相反;其中,所述衍射光栅元件(4)中的每一个包括单个涂层(5),所述单个涂层(5)被不对称地设置在所述衍射光栅元件(4)上,并且其中,所述单个涂层(5)的大部分被设置到所述第一侧(FS)或所述第二侧(SS),所述单个涂层(5)的小部分被另设置到所述第二侧(SS)或所述第一侧(FS),所述大部分和所述小部分形成所述单个涂层(5);以及其中,所述光栅耦合器(1)进一步被设置为满足以下条件:(n1xsin(|α|)+n2)/λxP≥1,其中,n1为相对于所述衍射光栅元件(4)的入射光侧的光学介质的折射率,n2为相对于所述衍射光栅元件(4)的衍射光侧的光学介质的折射率,|α|为入射在所述光栅耦合器(1)上的光束的入射角的绝对值,λ为衍射光的波长,以及P为所述衍射光栅元件(4)的周期,并且其中,所述光栅耦合器在第一衍射级或第一负衍射级的效率高于50%。
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