[发明专利]用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备及蒸发有机材料的方法有效
| 申请号： | 201380081500.6 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN105814231B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | S·邦格特;U·舒斯勒;J·M·迭戈兹-坎波;D·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/56;C23C14/24;B05D3/04;B05D1/02;B05D1/00;H01L51/00;H01L51/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括蒸发坩埚，其中所述蒸发坩埚配置成蒸发所述有机材料；具有一个或多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩埚流体地连通，并且其中所述分布管可在蒸发期间绕轴旋转；以及用于所述分布管的支撑件，其中所述支撑件可连接至第一驱动器或包括所述第一驱动器，其中所述第一驱动器配置成用于所述支撑件和所述分布管的平移运动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 有机 材料 蒸发 空腔 沉积 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于有机材料的蒸发源，包含：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅配置成蒸发所述有机材料；分布管，具有一个或多个出口，其中所述分布管与所述蒸发坩锅流体地连通，并且其中所述分布管在蒸发期间可绕轴旋转；以及支撑件，用于分布管，其中所述支撑件可连接至第一驱动器或包含所述第一驱动器，其中所述第一驱动器配置成用于所述支撑件和所述分布管的平移运动。
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