[发明专利]AC电力连接器、溅射设备及其方法在审
| 申请号： | 201380081666.8 | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105830194A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | F·施纳朋伯格;A·赫尔米希;S·凯勒;M·本德 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/34;C23C14/34;H01G5/04;H01G5/06;H01G5/16;H01R24/38;H01R24/40;H03H7/38 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种用于将AC电源(20)与装置(30)连接的AC电力连接器。AC电力连接器包括可与AC电源连接的至少一个第一元件(11)以及可与装置连接的至少一个第二元件(12)，所述第一元件与所述第二元件相对于彼此以第一距离(13)布置以限定电容，其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件相对于彼此是可旋转的，其中所述第一元件与所述第二元件配置成用于所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件之间的AC电力的传送。 | ||
| 搜索关键词： | ac 电力 连接器 溅射 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种用于将AC电源与装置连接的AC电力连接器，所述AC电力连接器包括：至少一个第一元件和至少一个第二元件，所述至少一个第一元件可与所述AC电源连接，所述至少一个第二元件可与所述装置连接，所述第一元件与所述第二元件相对于彼此以第一距离布置以限定电容；其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件相对于彼此是可旋转的；其中所述第一元件与所述第二元件配置成用于所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件之间的AC电力的传送。
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