[其他]用于使激光束转向的装置

摘要

用于使激光束转向的装置，其用于加工工件的激光加工装置。该装置包括安装体、具有镜反射表面的结构元件和柔性元件，通过柔性元件将结构元件与安装体直接连接，结构元件围绕任意的空间轴以偏转角度偏转。该装置包括第一构件和第二构件，这些构件根据控制吸引或排斥。所述构件中的一个与结构元件耦合并且这两个构件布置和共同作用为使得结构元件围绕任意的空间轴以偏转角度偏转。所述装置包括用于检测实际偏转角度的角度检测装置和用于根据预定偏转角度和实际偏转角度控制结构元件的偏转从而使得实际偏转角度与预定偏转角度一致的偏转角度修正控制装置。通过该装置提供用于使扫过面的激光束转向的装置，其空间需求小精度高且成本低廉地制造和运行。

主权项

一种用于使激光束(2)转向的装置(4)，其用于加工工件的激光加工装置(1)，其包括：安装体(3)，具有镜反射表面(15)的结构元件(12)，柔性元件(13)，通过所述柔性元件能够将所述结构元件(12)与所述安装体(3)直接连接，其中，所述结构元件(12)能够围绕任意的空间轴以偏转角度偏转，施加力的第一构件(17)和至少一个施加力的第二构件(14)，其中，所述施加力的构件(14，17)中的至少一个能够被控制为使得所述两个施加力的构件(14，17)根据控制吸引或者排斥，其中，所述施加力的构件(14，17)中的一个与所述结构元件(12)耦合并且这两个施加力的构件(14，17)被布置和共同作用为使得所述结构元件(12)能够围绕所述任意的空间轴以所述偏转角度偏转，所述装置(4)具有：用于检测所述结构元件的实际偏转角度的角度检测装置(19)，所述结构元件(12)以所述实际偏转角度偏转；和根据预定偏转角度和实际偏转角度控制所述结构元件(12)的偏转从而使得所述实际偏转角度与所述预定偏转角度一致的偏转角度修正控制装置(20)。