[其他]照明器

摘要

公开了一种照明器，其和晶圆探测器一起使用用于提供执行晶圆上的器件的测试、校准、和/或检查的照明，例如，可见的和/或不可见的电磁辐射。照明器可以包括：多个IR辐射源；反射器，适用于从IR辐射源接收IR辐射；和致动器，适用于选择性地将反射器移动至多个不同的位置；以及照明器适用于和晶圆探测器一起实现，以测试所述器件。照明器的各个元件和晶圆探测器交互，以提供具有快速切换的强度、波长和/或其他属性的足够均匀和稳定的照明。由照明器的各种实施例提供的照明允许晶圆探测器对于在晶圆上制造和/或封装的器件执行高效的测试、校准、和/或检查。

主权项

一种照明器，其包括：多个红外IR辐射源；反射器，适用于从所述IR辐射源接收IR辐射；致动器，适用于选择性地将反射器移动至多个不同的位置，以将IR辐射源中被选择的不同的多个IR辐射源发出的IR辐射导向晶圆上的器件；以及其中所述照明器适用于和晶圆探测器一起实现，以测试所述器件。