[发明专利]单极性低温等离子体电源有效
| 申请号： | 201410000814.5 | 申请日： | 2014-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN103683981A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王凌云;刘宏伟;李杰;李喜;章林文;李洪涛;王传伟;袁建强;姜苹;马勋;丁胜 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | H02M7/04 | 分类号： | H02M7/04;H02M3/335;H02M1/14;H05H1/24 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谢敏 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单极性低温等离子体电源，包括依次连接的交流变换单元、波形整形单元和材料表面处理单元。本发明的有益效果是：本发明的波形整形单元采用多原边变压器，能够输出多种前沿脉冲输出，再通过方波发生器的输出方波的调节脉宽，实现了频率0-50kHZ可调、电压0-50kV可调、脉宽1-100μs可调、上升沿300ns-15μs可调的单极性脉冲；本发明的输出电压为单极性，使得两个电极板之间放电非常均匀，对工件和电极板基本没有破坏性，保证了工件或材料的完整性，延长了电极板的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 极性 低温 等离子体 电源 | ||
【主权项】：
单极性低温等离子体电源，其特征在于：包括依次连接的交流变换单元、波形整形单元和材料表面处理单元，所述的交流变换单元包括变压器T1和整流器D1，所述的变压器T1一端连接市电，另一端经整流器D1连接到波形整形单元，所述的波形整形单元包括变压器T3、功率开关管Q1和方波发生器T2，所述的变压器T3的原边的一个端口连接到交流变换单元，另一个端口经功率开关管Q1接地，功率开关管Q1的控制端连接到方波发生器T2，所述的材料表面处理单元包括两个平行相隔的电极板，该两个电极板分别连接到变压器T3的副边的两个端口上，两个电极板上还并联有一个放电电阻R2。
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