[发明专利]一种气体循环装置及装置内气体循环方法

摘要

本发明提供了一种与刻蚀液设备连接的气体循环系统及装置内气体循环方法。通过冷凝阶段、洗涤阶段及电渗析阶段能有效地处理刻蚀液再生过程中产生的有害气体。本发明的突出效果为：刻蚀液再生用电解槽结构简单、紧凑，能很好地为再生过程提供需要的加速剂和反应气体；整个再生过程不需要添加任何再生用的添加剂；提高了蚀刻过程的稳定性和灵活性，将大大改善蚀刻工艺；最终无有害气体排出，绿色环保。

主权项

1.一种气体循环装置，其特征在于：所述气体循环装置与蚀刻液设备连接，所述气体循环装置包括第一电-电渗析器、一洗涤器及一冷凝器，所述蚀刻液设备连接一反应器及与所述反应器连接的电解槽；所述反应器包括一个预溢流室及第一、第二、第三溢流室，所述蚀刻液从预溢流室流出后按序进入三个溢流室；所述电解槽内设有A隔间和B隔间，所述A隔间包括第一阳极室、中间室、第一阴极室；所述第一阳极室和中间室之间设有阳离子膜，所述中间室和第一阴极室之间设有阴离子膜；所述B隔间包括第二阳极室和第二阴极室；所述电解槽还包括第一缓存槽和第二缓存槽，所述第一缓存槽的入口与所述预溢流室连接，所述第一缓存槽的出口与所述第一溢流室连接，所述第一缓存槽还与所述电解槽内的第一阴极室和第二阴极室连通，所述第一阳极室与第二缓存槽连通，所述中间室与第二溢流室连通，所述第二阳极室与第一溢流室连通；所述反应器与电解槽之间还设有气体管路并将两者连接起来，所述第三溢流室的出口连接于所述蚀刻液设备内的蚀刻液池或蚀刻液喷头；所述第三溢流室的废气出口与所述冷凝器的入口连接，用以使第三溢流室的废气通过管路流进冷凝器，所述冷凝器的气体出口与洗涤器的气体入口连接，所述冷凝器的冷凝物出口通过管路与第一溢流室连接；所述洗涤器中的洗涤液出口与第一电-电渗析器的中间室进口连接，所述第一电-电渗析器的中间室出口与第一电-电渗析器的阴极室入口通过管路连接，所述第一电-电渗析器的阴极室出口与洗涤器的另一入口端连接；所述第一缓存槽的出口与气体循环装置中第一电-电渗析器的阳极室入口连接，阳极室的出口与第一缓存槽的入口连接，用以使第一缓存槽内蚀刻液通过获取洗涤溶液中的离子后返回至第一缓存槽中；所述洗涤器还设置有终气体出口，用于排放最终产生的气体；所述反应器与电解槽之间设有的气体管路具体包括：所述A隔间的第一阴极室、B隔间的第二阴极室及A隔间的第一阳极室的气体出口通过气体管路与第一溢流室的气体入口连接，所述B隔间的第二阳极室的气体出口与第二溢流室的气体入口连接；所述反应器内部管路包括：所述第一溢流室的过量气体出口与第二溢流室的气体入口连接，所述第二溢流室的过量气体出口与第三溢流室的气体入口连接；所述反应器内第一、第二、第三溢流室在被注入气体时，均经过一用磁石包裹的喷射泵浦，喷射泵浦每分钟的流量是其特定溢流量的两倍。