[发明专利]检查工具的检查方法

摘要

本发明提供一种检查工具的检查方法，该检查方法能够简单地检查出与VG网导通连接的多个检查用探针是否具有期望的绝缘性。将检查工具安装于基板检查装置，并在不将基板安装于基板检查装置的状态下，选择与被设定为接触多个检查用探针的一个配线图案接触的多个检查用探针作为一侧，且选择除了被选为一侧的检查用探针之外的检查用探针作为另一侧，利用检查单元，在一侧的检查用探针组与另一侧的检查用探针组之间产生规定的电位差，并计算出产生电位差时的一侧的检查用探针组与另一侧的检查用探针组之间的绝缘状态，根据计算结果，判断一侧的检查用探针组与另一侧的检查用探针组间的绝缘状态的好坏。

主权项

一种检查工具的检查方法，该检查方法用于检查：基板，其形成有多个配线图案；基板检查装置，其具有检查该基板的配线图案好坏的检查单元；以及检查工具，其将该配线图案与该检查单元电导通连接，该检查方法的特征在于，将所述检查工具安装于所述基板检查装置，在未将所述基板安装于所述基板检查装置的状态下，选择与被设定为接触多个检查用探针的一个配线图案接触的所述多个检查用探针作为一侧，且选择除了被选为所述一侧的检查用探针之外的检查用探针作为另一侧，利用所述检查单元，在所述一侧的检查用探针组与所述另一侧的检查用探针组之间产生规定的电位差，计算出产生所述电位差时的所述一侧的检查用探针组与所述另一侧的检查用探针组间的绝缘状态，根据所述计算结果，判断所述一侧的检查用探针组与所述另一侧的检查用探针组间的绝缘状态的好坏。