[发明专利]一种主动冷却型一维波面校正装置有效
| 申请号： | 201410003830.X | 申请日： | 2014-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN103728723A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 范国滨;李国会;张卫;何忠武;杨媛;徐宏来;向汝建;吴晶;胡平;罗亦耕;杜应磊 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 卿诚;吴彦峰 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种主动冷却型一维波面校正装置，包括底座、驱动器和镜片，所述底座顶部设置有冷却腔，冷却腔一端设置进水口、另一端设置出水口；所述冷却腔的底部设置有通孔，所述驱动器设置在底座上并穿过冷却腔底部的通孔与盖在冷却腔上的镜片粘结。冷却物质从冷却板底部水嘴流入，从顶部水嘴流出，在冷却腔中冷却物质与镜片充分进行热交换，从而实现主动冷却。当哈特曼探测到条形光斑长度方向波面起伏时，给对应的驱动器通过接插件加载相应的电压或电流，驱动器带动镜面上下运动，镜片的镜面产生形变，从而实现对波面面形的一维校正。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 主动 冷却 型一维波面 校正 装置 | ||
【主权项】：
一种主动冷却型一维波面校正装置，包括底座、驱动器和镜片，其特征为所述底座顶部设置有冷却腔，冷却腔一端设置进水口、另一端设置出水口；所述冷却腔的底部设置有通孔，所述驱动器设置在底座上并穿过冷却腔底部的通孔与盖在冷却腔上的镜片粘结。
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