[发明专利]薄膜晶体管阵列面板及其制造方法

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管阵列面板及其制造方法。代替在薄膜晶体管阵列面板的非成像的外围区域（PA）和成像的显示区域（DA）二者中以相同的方式形成接触孔，DA中的接触孔形成为实质上小于PA中的接触孔，由此改善相应的显示装置的开口率。在示例性实施方式中，无机栅极绝缘层在DA中没有被蚀刻而是在位于DA中的无机绝缘层当中只有无机第一钝化层被蚀刻以允许漏电极与相应的场产生电极之间的连接。另一方面，在外围区域中，位于栅极线和数据线上的多个无机绝缘层诸如栅极绝缘层、第一钝化层和第二钝化层被同时蚀刻以形成分别暴露栅极焊盘和数据焊盘的第二接触孔和第三接触孔。

主权项

1.一种薄膜晶体管阵列面板，在显示装置中使用并且包括：基板，具有显示区域和外围区域，所述显示装置的成像光线将经过所述显示区域，所述外围区域设置在所述显示区域附近并且所述显示装置的成像光线不会经过所述外围区域；栅极线，位于所述基板的所述显示区域中并包括栅电极；栅极焊盘，连接到所述栅极线，并且位于所述基板的所述外围区域中；栅极绝缘层，位于所述栅极线和所述栅极焊盘上；数据线和漏电极，位于所述基板的所述显示区域中；数据焊盘，连接到所述数据线，并且位于所述基板的所述外围区域中并位于所述栅极绝缘层上；第一钝化层，具有穿过其限定以暴露所述漏电极的一部分的第一接触孔；第一场产生电极，通过所述第一钝化层的所述第一接触孔连接到所述漏电极；第二钝化层，位于所述第一场产生电极上；以及第二场产生电极，位于所述第二钝化层上，其中所述第一场产生电极包括位于所述第一接触孔中被所述第二钝化层覆盖的一部分，其中所述栅极绝缘层、所述第一钝化层和所述第二钝化层具有穿过其延伸并且位于所述外围区域中以暴露所述栅极焊盘的第二接触孔，以及其中所述第一钝化层和所述第二钝化层具有穿过其延伸并且位于所述外围区域中以暴露所述数据焊盘的第三接触孔，其中所述第一接触孔与所述栅极线的所述栅电极的一部分交叠并暴露出所述漏电极的端部，并且所述栅电极的被所述第一接触孔交叠的所述部分被所述栅极绝缘层覆盖。