[发明专利]适于保护热电偶的管套及测量反应腔内温度的方法在审
| 申请号： | 201410006622.5 | 申请日： | 2014-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN103698028A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 顾武强;潘琦;王强 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01K1/08 | 分类号： | G01K1/08;G01K7/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种适于保护热电偶的管套及测量反应腔内温度的方法，所述测量反应腔内温度的方法包括提供一热电偶和一管套，所述热电偶包括测温端和接线端；将所述测温端置于所述反应腔内，所述接线端穿过所述反应腔的底部置于所述反应腔外；所述测温端套入所述管套内，且所述管套的开口端与所述反应腔的底部连接。本发明提供的测量反应腔内温度的方法可以防止在热电偶表面形成膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 适于 保护 热电偶 测量 反应 温度 方法 | ||
【主权项】：
一种适于保护热电偶的管套，其特征在于，所述管套包括一密封端和一开口端。
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