[发明专利]基于MEMS芯片的露点检测装置无效
| 申请号： | 201410007381.6 | 申请日： | 2014-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN103743783A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 刘清惓;谢钟镭;邓俊;张加宏 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01N25/68 | 分类号： | G01N25/68;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 210044 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于MEMS芯片的露点检测装置，属于大气检测的技术领域。露点检测装置包括：散热片，固定在散热片上的制冷机，贴合在制冷机上表面的镜面，通过微机械工艺加工在镜面上方透明板阵列，透明板阵列与镜面之间的支撑物，所述透明板阵列、支撑物均为高导热材料，使透明板和镜面温度一致，从而透明板在镜面结露的同时也结露；透明板结露使反射光在光通路上有更多的衰减，有利于反射光信号的变化幅度增加，提高了露点检测仪的灵敏度和响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 芯片 露点 检测 装置 | ||
【主权项】：
基于MEMS芯片的露点检测装置，包括散热片，固定在散热片上的制冷机，贴合在制冷机上表面的镜面，其特征在于：所述基于MEMS芯片的露点检测装置还包括：透明板阵列以及支撑板，所述支撑板通过微机械加工工艺制备在镜面上，所述透明板阵列通过微机械加工工艺制备在支撑板上。
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