[发明专利]一种用于非球面光学模具在机检测的新装置

摘要

一种用于非球面光学模具在机检测的新装置，其包括一个激光器、两个扩束系统、一个缩束系统、一块分光镜、一个转换透镜、两块光学平板、四个楔角很小的圆形光楔、一个高带宽声光偏转器、两个空间滤波器、两块反射镜、一个射频功率放大器、一个直接数字频率合成器、一个CCD和一台计算机。在该装置中，直接数字频率合成器和CCD均与计算机连接，并由计算机控制。本发明通过计算机程序调节直接数字频率合成器频率控制字使干涉条纹高速变频，并采用多频时间序列相位解包裹方法进行条纹图处理；其条纹变频的速度达到几十纳秒/帧，因此可实现非球面光学模具的面形在机检测。

主权项

一种用于非球面光学模具在机检测的新装置，其包括一激光器，其特征在于：沿激光器产生激光的水平前进方向依序设置光学扩束系统、分光镜、聚焦转换透镜、被测非球面模具；所述激光再次经过分光镜反射后形成第一垂直光路，在该第一垂直光路放置第一光学平板，激光通过第一光学平板后形成两条水平光路，在下面光路a中沿激光前进方向依序设置第一光楔、第二光楔；在上面光路b中沿激光前进方向先后放置第三光楔、第四光楔；在第二光楔和第四光楔后放置一高带宽声光偏转器，该声光偏转器可调制多种波长的激光，其带宽至少为40MHz，衍射效率大于60％；光路a与光路b均通过声光偏转器且均以θ角度出射，出射角θ等于sinθ，声光偏转器与射频功率放大器连接，射频功率放大器与直接数字频率合成器相连，该直接数字频率合成器的频率调节范围大于40MHz，而直接数字频率合成器与计算机相连，并由计算机控制；分别在光路a和b中，位于声光偏转器之后，根据光线出射角度放置空间滤波器和反射镜，在反射镜之后a光路中放置扩束系统，在b光路中放置缩束系统，在扩束系统与缩束系统后再放置第二光学平板，光路a与b通过第二光学平板后形成第二垂直光路，在该第二垂直光路沿激光前进方向放置CCD，CCD与计算机相连。