[发明专利]超高精度力传感器

摘要

本发明涉及到的超高精度力传感器，属于力学计量领域。主要由杠杆、衔铁、电磁铁、电磁铁支架、支撑柱、旋转机构、杠杆平衡检测装置、底板、闭环控制系统等组成：衔铁通过螺钉连接在杠杆上，杠杆安装在旋转机构上；在衔铁下方是电磁铁，安装在电磁铁支座上；支撑柱固定在杠杆后端，可与杠杆一起运动，其下方是杠杆平衡检测装置；当压力作用在本传感器上时，杠杆发生转动，通过杠杆平衡检测装置，再通过闭环控制系统，使电磁铁产生电磁力，吸附衔铁使杠杆恢复到初始位置；由于杠杆恢复初始位置后，传感器的机械结构没发生改变，且本传感器的输出是电磁铁控制电参数的形式，控制电压可以达到数十伏，所以本传感器可以达到超高精度。

主权项

一种新型的超高精度力传感器，主要由杠杆1、衔铁2、电磁铁3、电磁铁支座4、支撑柱5、旋转机构6、杠杆平衡检测装置7、底板8、闭环控制系统等组成，其特征是：杠杆1通过旋转机构固定6在底板8上，并且可以绕着旋转机构6旋转，杠杆1前端连接着衔铁2，通过电磁铁3吸附衔铁2可以使杠杆1绕着旋转机构6发生旋转，支撑柱5跟杠杆1末端配合，用于承受压力，通过杠杆平衡装置7，可以检测杠杆1是否恢复到初始位置，从而通过闭环系统来控制电磁铁3的电磁力的大小，使杠杆1恢复到初始位置。