[发明专利]微机电装置

摘要

本发明为一种微机电装置，其包括基板、质量块及多个悬臂。悬臂分别设置于基板的周围与质量块的周围之间且用以支撑氧化层。基板包含平行一轴向多个第一电极和多个第二电极，分别自基板上相对两区延伸而出。基板中央另有蚀刻区，设置于其中央的质量块包含平行同一轴向的多个第三电极与多个第四电极，分别自质量块的相对两侧边延伸而出。第一电极与第三电极交叉相对，第二电极与第四电极交叉相对。本发明以氧化层选择性包覆连接层或硅基板选择性搭配披覆层的方式作为质量块，使微机电装置的结构不受温度变化的影响。

主权项

一种微机电装置，其特征在于，该微机电装置作为一加速度计，并包含：一基板，包含多个第一电极、多个第二电极、一第一区、一第二区及一蚀刻区，该蚀刻区位于该基板的中央，该第一区与该第二区相对，该些第一电极等距地位于该第一区，该些第二电极等距地位于该第二区；一质量块，设置于该蚀刻区的中央，该质量块包含多个第三电极、多个第四电极、一第一侧边及一第二侧边，该第一侧边与该第二侧边相对，该些第三电极等距地位于该第一侧边，该些第四电极等距地位于该第二侧边；以及多个悬臂，分别设置于该基板的周围与该质量块的周围之间，该些悬臂用以支撑该质量块，使该质量块与该基板相隔一第一距离；其中每一该第一电极平行于一轴向且沿该轴向自该第一区朝该第一侧边延伸出一第二距离，每一该第三电极平行于该轴向且沿该轴向自该第一侧边朝该第一区延伸出一第三距离，该些第一电极与该些第三电极交叉相对进而彼此之间具有重叠的耦合面积将形成耦合电容的效应，用于检测该些第一电极与该些第三电极之间的前后耦合电容的差值以作为该加速度计的检测，其中该第二距离和该第三距离大于一半的该第一距离且不大于该第一距离；其中每一该第二电极平行于该轴向且沿该轴向自该第二区朝该第二侧边延伸出该第二距离，每一该第四电极平行于该轴向且沿该轴向自该第二侧边朝该第二区延伸出该第三距离，该些第二电极与该些第四电极交叉相对进而彼此之间具有重叠的耦合面积将形成耦合电容的效应，用于检测该些第二电极与该些第四电极之间的前后耦合电容的差值以作为该加速度计的检测，其中于该基板上利用薄膜沉积的方式成长氧化层包覆连接层，并且该质量块以该氧化层包覆连接层的方式所制成，以得到在单一该基板上形成该质量块的一体成型微机电装置，其中该氧化层为二氧化硅，该连接层为钨。