[发明专利]一种六氟化硫气体组分分析仪

摘要

本发明公开了一种六氟化硫气体组分分析仪，包括大气室、电源和电路控制板；大气室左侧壁上设有红外光源和光路输出窗口，且大气室后壁上设有大气室进气口和大气室出气口；大气室外部左侧设有氦氖光源、第一反射镜和第二反射镜；大气室内部设有干涉仪及传感器；干涉仪包括第三反射镜、第四反射镜、分束器、红外全反射镜、激光探测器、第五反射镜、小气室及红外探测器；电源为上述各结构供电；电路控制板控制红外光源、氦氖光源、小气室和电源的运行，接收并处理传感器、激光探测器、红外探测器和小气室传输的信号。本发明提供的六氟化硫气体组分分析仪结构简单，所需气体量小，不受外界环境影响，分析精度高，且其适用范围大。

主权项

一种六氟化硫气体组分分析仪，其特征在于，包括大气室（1）、电源（26）和电路控制板（27）；所述大气室（1）左侧壁上设有红外光源（2）和光路输出窗口（3），且所述大气室（1）后壁上设有大气室进气口（4）和大气室出气口（5）；所述大气室（1）外部左侧设有氦氖光源（6）、第一反射镜（7）和第二反射镜（8）；所述第一反射镜（7）设置在所述氦氖光源（6）的入射光束光路上，所述第二反射镜（8）位于所述第一反射镜（7）的反射光束光路上，且所述光路输出窗口（3）位于所述第二反射镜（8）的反射光束光路上；所述大气室（1）内部设有干涉仪（9）及位于所述干涉仪（9）后方的传感器（18）；所述干涉仪（9）包括设置在所述红外光源（2）入射光束光路上和所述第二反射镜（8）反射光束光路上的第三反射镜（10）、设置在所述第三反射镜（10）反射光束光路上的第四反射镜（11）、设置在所述第四反射镜（11）反射光束光路上的分束器（12）、设置在所述分束器（12）右上方位置的红外全反射镜（13）、设置在所述分束器（12）透射光束光路上的激光探测器（14）和第五反射镜（15）、位于所述第五反射镜（15）反射光束光路上的小气室（16）及位于所述小气室（16）出射光束光路上的红外探测器（17）；所述电源（26）为上述各结构供电；所述电路控制板（27）控制红外光源（2）、氦氖光源（6）、小气室（16）和电源（26）的运行，接收并处理所述传感器（18）、激光探测器（14）、红外探测器（17）和小气室（16）传输的信号。