[发明专利]涂布探针及其制作方法有效
| 申请号： | 201410014100.X | 申请日： | 2014-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN104655884B | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 曾仕君;吴仁杰;杨秉兴;蔡丽端;吴金宝 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/58 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种涂布探针及其制作方法。所述涂布探针包括探针本体以及披覆层。探针本体具有末端。披覆层覆盖探针本体的末端的表面，其中披覆层包括纳米碳材层，且纳米碳材层包括纳米碳材。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种涂布探针，其特征在于，包括：一探针本体，具有一末端；一披覆层，覆盖所述探针本体的末端的表面，其中所述披覆层包括一纳米碳材层以及一疏水层，其中所述纳米碳材层位于所述探针本体的末端与所述疏水层之间，且所述纳米碳材层包括纳米碳球。
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