[发明专利]一种快速测量多晶硅中微量硼杂质的方法

摘要

本发明涉及一种快速测量多晶硅中微量硼杂质的方法。包括：称取多晶硅样品试样；向试样中加入甘露醇溶液；再向试样中加入碳酸钾溶液；然后加入氢氟酸，再缓慢滴入硝酸进行酸化溶解；待试样溶解后，加热至白烟冒尽，停止加热；向试样中加入盐酸浸泡，再用少量的纯水稀释，冷却；待冷却后，向溶液中加入甲醇，摇匀，定容；定容后，用氨水和纯水分别冲洗ICP-MS；待ICP-MS冲洗完成，将定容后的溶液试样采用ICP-MS检测，即可精确测量出样品的硼含量。本方法工艺简单，成本低，测量精确、能快速测量多晶硅中硼的含量。

主权项

一种快速测量多晶硅中微量硼杂质的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）称取多晶硅样品作为试样；2）向上述试样中加入络合剂甘露醇溶液；3）向上述已加入络合剂的试样中加入K₂CO₃溶液，形成第一溶液试样；4）向上述第一溶液试样中加入氢氟酸，再缓慢滴入硝酸，用于溶解第一溶液试样；5）待上述第一溶液试样溶解完后，将所得溶液移到加热板上加热；6）待步骤5）溶液加热至白烟冒尽后，停止加热，并向试样中加入盐酸浸泡后，用少量的纯水稀释，冷却，形成第二试样溶液；7）向上述步骤6）所得第二试样溶液中加入适量的甲醇，并摇匀，再用纯水定容，形成第三试样溶液；8）先用氨水冲洗ICP‑MS，再用纯水冲洗；9）待ICP‑MS冲洗完，将步骤7）所得的第三试样溶液采用ICP‑MS检测，即得到步骤1）所述试样中硼的含量。