[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供一种物理量传感器，其抑制因元件片与固定电极的抵接而产生的损坏。所述物理量传感器的特征在于，具备：元件片，其包括可动锤、和从所述可动锤延伸设置的可动电极部；固定电极部，其以在所述元件片进行位移的第一方向上与所述元件片隔开间隙（d1）的方式而设置；固定部，其以与所述元件片的端部对置的方式而设置，在所述可动锤的所述端部上，在与所述固定部对置的位置处设置有凹部，在所述固定部上，设置有朝向所述可动锤而延伸的第一止动部，所述第一止动部的顶端被插入至所述凹部内，并且所述顶端与所述可动锤之间的间隙（d2）窄于所述间隙（d1）。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，具备：可动锤；可动电极部，其从所述可动锤延伸设置；固定部，其以与所述可动锤的端部对置的方式而设置；固定电极部，其以在所述可动锤进行位移的第一方向上与所述可动电极部隔开间隙(d1)的方式而设置；在所述可动锤的所述端部上，在与所述固定部对置的位置处设置有凹部，在所述固定部上，设置有朝向所述可动锤而延伸的第一止动部，所述第一止动部的顶端被插入至所述凹部内，并且所述顶端与所述可动锤之间的间隙(d2)窄于所述间隙(d1)。