[发明专利]球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法

摘要

球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法，属于光学测试领域，为解决现有技术无法对球面测试时干涉仪传递函数的测试问题，该测试装置及方法：安装干涉仪球面测试基准镜头在干涉仪主机上；打开移相式干涉仪主机和配套计算机电源开关；在干涉仪球面测试基准镜头的球心后面45°放置高度传递函数测试基准板使光路折转，在其后放置高精度球面反射镜，使其球心与干涉仪球面测试基准镜头的球心重合；在干涉仪主机上可获得高度传递函数测试基准板的图像，通过干涉仪主机测试采集相移图像将得到高度传递函数测试基准板的面形测试图，测试基准板的高度测试结果hi；基准板相应频域的高度值h0，则干涉仪高度测试传递函数值H=hi/h0。

主权项

球面移相式干涉仪高度传递函数测试装置，其特征是，由移相式干涉仪主机（1）出射的光经过球面测试基准镜头（4）后形成球面波，在球面测试基准镜头（4）的球心后45°放置高度传递函数测试基准板（3），光由高度传递函数测试基准板（3）反射到高精度球面反射镜（5），再由高精度球面反射镜（5）反射后原路返回至干涉仪主机（1）与由球面测试基准镜头（4）形成的参考光相干涉。