[发明专利]蒸镀源在审
| 申请号： | 201410018043.2 | 申请日： | 2014-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN104419898A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 高晟洙;金在福;宋原准;李宽熙 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 张云珠;韩明星 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种蒸镀源。根据本发明的一实施例的蒸镀源包括：主体部件，形成为使有机物从上侧排出；加热单元，包括形成于所述主体部件的下部的第一线圈部和形成于所述主体部件的上部且比所述第一线圈部释放相对更多的热量的第二线圈部。根据这种结构，由于主体部件的上侧比下侧能够维持相对较高的温度，因此能够防止有机物在开口部发生凝固。即，蒸镀工艺在有机物于开口部发生凝固而对蒸镀源实施维护期间中断的情形变少，因此使蒸镀源的维护周期变长，从而可提高生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀源 | ||
【主权项】：
一种蒸镀源，包括：主体部件，形成为使有机物从上侧排出；加热单元，包括形成于所述主体部件的下部的第一线圈部和形成于所述主体部件的上部且比所述第一线圈部释放相对更多的热量的第二线圈部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司，未经三星显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410018043.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种钢丝磷化处理的工艺
- 下一篇：用于制造金属膜的方法
- 同类专利
- 专利分类
