[发明专利]含微量稀土元素的镍钒合金磁控溅射旋转靶材及制备方法有效
| 申请号： | 201410018872.0 | 申请日： | 2014-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103710577A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王小叶;吴宇宁;王荣巧;徐海斌;袁聪 | 申请（专利权）人： | 南京达迈科技实业有限公司 |
| 主分类号： | C22C19/03 | 分类号： | C22C19/03;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 211102 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种含微量稀土元素的镍钒合金磁控溅射旋转靶材及制备方法，其靶材化学成分为0.002wt~0.05wt%RE，5~9wt%V，余量为Ni及不可避免的杂质。通过真空熔炼、浇注、热锻、热穿孔或热挤压成管状、冷拉、退火、机加工等工艺过程。采用的原材料有纯度为99.95%的电解镍、99.9%的海绵钒、99.9%的混合稀土元素。通过真空熔炼，在电解镍熔清精炼后添加海绵钒，能显著提高旋转靶材的抗氧化性和耐蚀性，改善靶材的稳定性和热硬性及对材料过热的敏感性，添加微量的稀土元素，能提高材料纯度，实现靶材的显微组织细化、均匀，有利于提高Ni-V-RE旋转靶材的密度和材料塑性，延长材料的使用寿命。该旋转靶材广泛应用于电子元器件、通讯、太阳能等行业。 | ||
| 搜索关键词： | 微量 稀土元素 合金 磁控溅射 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
含微量稀土元素的镍钒合金磁控溅射旋转靶材，其特征在于该合金靶材成分按重量百分比计为：0.002%~0.05%RE，5%~9%V，余量为Ni和不可避免的杂质。
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