[发明专利]基板检测系统在审
| 申请号： | 201410019004.4 | 申请日： | 2014-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN104793064A | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 汪秉龙;陈桂标;陈信呈;彭及盈;郑明志 | 申请（专利权）人： | 久元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 于宝庆;刘春生 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板检测系统，其包含：一置料装置、一载运装置、一第一基板吸附载台及一第一检测装置。置料装置用以置放至少一基板。载运装置用以载运置放于置料装置的基板。第一基板吸附载台可活动地设置于一第一导轨上，用以吸附载运装置所置放的基板。第一检测装置用以检测置设于第一基板吸附载台的基板。由此，可快速而有效地对基板进行检测。本发明的基板检测系统可以有效提升基板的检测效率及其成效，进而达到快速而高品质生产的竞争需求。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种基板检测系统，其特征在于，所述基板检测系统包含：一置料装置，其用以置放至少一基板；一载运装置，其用以载运置放于该置料装置的该基板；一第一基板吸附载台，其可活动地设置于一第一导轨上，用以吸附该载运装置所置放的该基板；以及一第一检测装置，其用以检测置设于该第一基板吸附载台的该基板。
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