[发明专利]太阳能电池的N型晶体硅衬底的清洗处理方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的N型晶体硅衬底的清洗处理方法，该方法的步骤如下：用去离子水冲洗经过制绒处理后的N型晶体硅衬底，然后将其浸渍在浓硫酸和过氧化氢的混合溶液，完成后再用去离子水冲洗衬底；接着将衬底浸泡于含有2%氯化氢和3%氢氟酸的混合溶液中2~3min，之后再用去离子水冲洗干净；接着将衬底浸渍在配比为1：1：6、温度为60℃~80℃的氯化氢：过氧化氢：水的混合液中洗涤10~15min，之后再用去离子水冲洗，然后将衬底表面烘干待用；接着将干燥的衬底进行刻蚀处理，然后再用去离子水冲洗；本发明方法能够提高衬底表面的洁净度，使其平整光滑，从而改善制备的太阳能电池的开路电压、短路电流和填充因子，提升电池光电转换性能。

主权项

一种太阳能电池的N型晶体硅衬底的清洗处理方法，其特征在于该方法的步骤如下：（1）用去离子水冲洗经过制绒处理后的N型晶体硅衬底，然后将其浸渍在浓硫酸和过氧化氢的混合溶液中5~15min，并保证温度80~100℃，完成后再用去离子水冲洗衬底；其中，浓硫酸和过氧化氢的配比为1：1~1:4；（2）接着将衬底浸泡于含有2%氯化氢和3%氢氟酸的混合溶液中2~3min，之后再用去离子水冲洗干净；（3）接着将衬底浸渍在配比为1：1：6、温度为60℃~80℃的氯化氢：过氧化氢：水的混合液中洗涤10~15min，之后再用去离子水冲洗，然后将衬底表面烘干待用；（4）接着将干燥的衬底进行刻蚀处理，然后再用去离子水冲洗；（5）接着将衬底浸泡在含有2%氯化氢和3%氢氟酸的混合溶液中2~3min，之后再用去离子水冲洗干净；（6）接着在60℃~80℃条件下，使用配比为1：1：4的一水合氨：过氧化氢：水的混合液对衬底预清洗处理；（7）接着将衬底浸泡在含有48%氟化铵和1%氢氟酸的混合溶液中1~3min，之后再用去离子水冲洗干净；（8）接着在50℃条件下，使用配比为1:5的过氧化氢：水的溶液中对衬底进行原子级粗糙度调整，时间为0.5~2min，并且过氧化氢：水的溶液中含有2%的氢氟酸；（9）接着在60℃~80℃条件下，将衬底浸泡在配比为1:1:5的一水合氨：过氧化氢：水混合液中10~15min，之后再用去离子水冲洗干净；（10）接着将衬底浸泡在含有2%~5%氢氟酸的溶液中2~3min，之后再用去离子水冲洗干净；（11）接着将衬底转移至循环热水中，并保证水浴温度为80~100℃，时间为2~3小时，完成后吹干即可。