[发明专利]一种软板用显影、蚀刻连退膜设备

摘要

本发明属于显影、蚀刻连退膜设备技术领域，尤其涉及一种应用在各种软性电路板、薄膜太阳能板等产品的软板生产过程中的软板用显影、蚀刻及退膜设备，包括显影机构、蚀刻机构、退膜机构、清洗机构、干板机构、送料机构、收料机构。相对于现有技术，本发明由卷出送料机构输出的软板进行连续夹送，经过显影机构、蚀刻机构、退膜机构、清洗机构、干板机构，以完成连续显影、蚀刻、退膜作业，再由卷入收料机构卷收烘干后软板，从而达到软板显影、蚀刻、退膜作业的自动化、高速化和量产化，大大提高生产效率，降低加工成本。并且，本发明可避免薄软板在加工过程中的拆皱、堵板、卡板等现象的出现。

主权项

一种软板用显影、蚀刻及退膜设备，其特征在于：包括显影机构、蚀刻机构、退膜机构、清洗机构、干板机构、送料机构、收料机构；所述显影机构，其设置在所述设备的入口端，其包含有第一药水缸、第一摇摆架喷淋设备、传送软板的第一软包胶辘输送装置及设置在所述第一药水缸中的除泡沫装置；所述蚀刻机构，其设置在所述显影机构后，且位于所述清洗机构的出口端，其包含有第二药水缸、第二摇摆架喷淋设备、传送软板的第二软包胶辘输送装置及设置在所述第二摇摆架喷淋设备的喷嘴两旁的真空水刀装置；所述退膜机构，其设置在所述蚀刻机构后，且位于所述清洗机构的出口端，其包含有第三药水缸、第一喷管喷淋设备、传送软板的第三软包胶辘输送装置及设置在所述第三药水缸上面的滚筒收膜渣装置；所述清洗机构，其设置在所述显影机构、所述蚀刻机构、所述退膜机构的出口端，其包含有水洗缸、第二喷管喷淋设备、传送软板的第四软包胶辘输送装置；所述干板机构，其设置在所述退膜机构后，且位于所述清洗机构的出口端，其包含有强风组合、热合组合及过滤风箱装置；所述送料机构，其设置在所述显影机构的入口端；所述收料机构，其设置在所述干板机构的出口端。