[发明专利]固态图像拾取设备及其制造方法

摘要

本发明公开了固态图像拾取设备及其制造方法。当在各滤色器之间形成中空部时，为了实现具有较窄宽度的中空部的形成，在半导体基板的上表面上形成多个光接收部，在半导体基板之上形成与各光接收部对应的多个滤色器，在各滤色器上形成光致抗蚀剂，在光致抗蚀剂的侧表面上形成侧壁，以及通过至少使用该侧壁作为掩模执行蚀刻来在各滤色器之间形成中空部。

主权项

一种固态图像拾取设备的制造方法，在该固态图像拾取设备中，在半导体基板上设置多个光接收部，该方法包括：与各光接收部对应地在半导体基板之上以相互接触方式形成多个滤色器；在所述多个滤色器上形成第一平坦化层；在所述第一平坦化层上形成具有开口的光致抗蚀剂；在光致抗蚀剂的侧表面上形成侧壁；通过至少使用侧壁作为掩模执行蚀刻来在所述第一平坦化层中形成开口以及在各滤色器之间形成中空部；以及在形成所述第一平坦化层中的所述开口以及所述中空部之后留下的具有开口的光致抗蚀剂上形成第二平坦化层。