[发明专利]测量线路板层压偏位的方法

摘要

本发明公开了一种测量线路板层压偏位的方法，属于印制线路板制作技术领域。该方法包括以下步骤在线路板每层芯板上设置测量靶标；将线路板压合后，不同层芯板上相应位置的测量靶标重叠，在测量靶标位置处将线路板钻出锥形通孔；使用3D显微镜从该锥形通孔开口较大一端观察上述锥形通孔，根据该锥形通孔内显现的不同芯板上测量靶标之间的相对位置，计算线路板的层压偏位情况。该方法通过在线路板的每层芯板上设置测量靶标，层压后，使用锥形钻头在测量靶标位置处进行钻孔，然后对不同层芯板上的测量靶标进行测量，从而能够准确的测量出线路板层与层之间的偏位情况。

主权项

一种测量线路板层压偏位的方法，其特征在于，包括以下步骤：在线路板每层芯板上设置测量靶标；所述测量靶标为十字型；所述测量靶标通过以下方法制作：在内层图形制作时，通过曝光、显影和蚀刻的方式，将测量靶标的图形制作出；测量靶标制作时，根据侧蚀量对测量靶标的线宽进行补偿；将线路板压合后，不同层芯板上相应位置的测量靶标重叠，在测量靶标位置处将线路板钻出锥形通孔；且所述十字型测量靶标每一边的边长比所述锥形通孔开口较大一端的直径大至少0.4mm；所述锥形通孔开口较小一端的直径至少为0.4mm；使用3D显微镜从该锥形通孔开口较大一端观察上述锥形通孔，根据该锥形通孔内显现的不同芯板上测量靶标之间的相对位置，计算线路板的层压偏位情况；所述层压偏位＝不同层芯板测量靶标之间的最大偏位距离‑侧蚀量，其中，侧蚀量＝测量靶标的理论线宽‑测量靶标的实际线宽。