[发明专利]光学位移测量系统有效
| 申请号： | 201410024145.5 | 申请日： | 2014-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN103791844A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 伍剑;袁波 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开的光学位移测量系统包括光源、准直系统、用于标度尺的光栅、分光系统、奇数反射系统、偶数反射系统、合光系统、光电探测器和信号处理系统。光源发出的光经准直系统准直为平行光照明光栅，光栅的图像经分光系统分成两束，一束入射到奇数反射系统，另一束入射到偶数反射系统或直接进入合光系统，合光系统将来自奇数反射系统的光束和来自偶数反射系统或直接进入合光系统的光束重叠形成莫尔条纹，经光电探测器转换为电信号后输入到信号处理系统，对输入信号进行处理分析得到位移量。本发明结构简单，成本低，抗干扰能力强，能够有效地解决双光栅系统中光栅间隔和光栅局部缺陷对测量结果的影响，可用于位移测量和角位移测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位移 测量 系统 | ||
【主权项】：
光学位移测量系统，其特征是包括光源（1）、准直系统（2）、用于标度尺的光栅（3）、分光系统（4）、奇数反射系统（5）、偶数反射系统（6）、合光系统（7）、光电探测器（8）和信号处理系统（9）；光源（1）发出的光经准直系统（2）准直为平行光照明用于标度尺的光栅（3），该光栅（3）的图像经分光系统（4）分成两束，一束入射到奇数反射系统（5），另一束入射到偶数反射系统（6）或直接进入合光系统7，奇数反射系统（5）的入射光经反射进入合光系统（7），偶数反射系统（6）的入射光经反射进入合光系统（7），合光系统（7）将来自奇数反射系统（5）的光束和来自偶数反射系统（6）或直接进入合光系统（7）的光束重叠形成莫尔条纹，莫尔条纹经光电探测器（8）转换为电信号输入到对输入信号进行位移量分析的信号处理系统（9）。
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