[发明专利]一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统有效
申请号: | 201410024170.3 | 申请日: | 2014-01-17 |
公开(公告)号: | CN103713379A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 邓超;邢廷文;廖志远;朱红伟;杨雄 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G02B13/00 | 分类号: | G02B13/00;G02B13/18;G02B17/08 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 杨学明;顾炜 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统。本发明中的投影光学系统由一系列透镜和两个反射镜组成。从物面到像面依次有五个镜组,其中,两个反射镜一起组成第三个镜组,它是一个具有负光焦度的镜组,有利于帮助系统矫正场曲、减小系统的口径以及减少系统的非球面个数。本发明中的投影光学系统数值孔径大、像差小且结构紧凑,可有效地降低制造成本,降低镜片的加工、检测和装调难度。 | ||
搜索关键词: | 一种 数值孔径 反射 投影 光学系统 | ||
【主权项】:
一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统,用于将位于物平面的图案投影到像平面上,所述大数值孔径的投影光学系统包括第一透镜组(G1)、第二透镜组(G2)、第三反射镜组(G3)、第四透镜组(G4)和第五透镜组(G5),其特征在于:从光束入射方向的第一透镜组(G1)没有光焦度,第二透镜组(G2)具有正光焦度,第三反射镜组(G3)具有负光焦度,第四透镜组(G4)具有正光焦度,第五透镜组(G5)具有正光焦度,所述大数值孔径的投影光学系统包含了二十三片透镜和两片反射镜,且包含有非球面表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所,未经中国科学院光电技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201410024170.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。