[发明专利]对准标记、对准标记的检测方法和对准标记检测装置有效
| 申请号： | 201410025187.0 | 申请日： | 2014-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN104795383B | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 岳力挽;伍强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种对准标记、对准标记的检测方法和对准标记检测装置，其中，所述对准标记的检测方法包括提供晶圆，所述晶圆上具有第一标记图形和第二标记图形，其中，所述第一标记图形包括沿第一方向平行分布的多个条状图形，所述第二标记图形包括沿第二方向平行分布的多个条状图形，所述第二方向垂直于所述第一方向；检测所述第一标记图形和所述第二标记图形，分别获得与所述第一标记图形和所述第二标记图形对应的第一电学信号和第二电学信号；根据所述第一电学信号和所述第二电学信号获得所述第一标记图形和所述第二标记图形的位置信息。本发明对准标记的检测方法的效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种对准标记的检测方法，其特征在于，包括：提供晶圆，所述晶圆上具有第一标记图形和第二标记图形，其中，所述第一标记图形包括沿第一方向平行分布的多个条状图形，所述第二标记图形包括沿第二方向平行分布的多个条状图形，所述第二方向垂直于所述第一方向；检测所述第一标记图形和所述第二标记图形，分别获得与所述第一标记图形和所述第二标记图形对应的第一电学信号和第二电学信号；根据所述第一电学信号和所述第二电学信号获得所述第一标记图形和所述第二标记图形的位置信息。
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