[发明专利]纳秒脉冲气体放电下逃逸电子束流测量装置无效
| 申请号： | 201410027333.3 | 申请日： | 2014-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN103760590A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 章程;邵涛;马浩;杨文晋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种纳秒脉冲气体放电下逃逸电子束流测量装置，其纳秒脉冲电源（1）的输入端与市电相连，纳秒脉冲电源（1）的输出端与放电腔（2）的高压电极（6）相连。所述的高压电极（6）与纳秒脉冲电源（1）的输出端相连；放电腔（2）的地电极（7）位于外延法兰接口（5）和逃逸电子束流收集器的外壳（10）之间。逃逸电子束流收集器（3）同轴布置在地电极（7）的后方。逃逸电子束流收集器的外壳（10）与放电腔（2）的外延法兰接口（5）相连，外延法兰接口（5）与逃逸电子束流收集器的外壳（10）之间放置有密封圈A（18）；逃逸电子束流收集器的外壳（10）接地，逃逸电子束流收集器（3）的信号输出端通过信号电缆与示波器（4）相连。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 气体 放电 逃逸 电子束 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种纳秒脉冲气体放电下逃逸电子束流测量装置，其特征在于，所述的测量装置包括纳秒脉冲电源（1）、放电腔（2）、逃逸电子束流收集器（3）和示波器（4）；其中纳秒脉冲电源（1）的输入端与市电相连，纳秒脉冲电源（1）的输出端与放电腔（2）的高压电极相连，纳秒脉冲电源（1）的机箱接地；放电腔（2）为同轴结构，包括高压电极（6）、地电极（7）和外延法兰接口（5）；所述的地电极（7）位于外延法兰接口（5）的末端，夹在外延法兰接口（5）和逃逸电子束流收集器的外壳（10）之间，地电极（7）接地；逃逸电子束流收集器（3）同轴布置在地电极（7）的远离放电腔的一侧，逃逸电子束流收集器的外壳（10）与放电腔（2）的外延法兰接口（5）相连，外延法兰接口（5）与逃逸电子束流收集器的外壳（10）之间放置有密封圈A（18）；逃逸电子束流收集器的外壳（10）接地，逃逸电子束流收集器（3）的信号输出端通过信号电缆与示波器（4）相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院电工研究所，未经中国科学院电工研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410027333.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：金属凸块接合结构
- 下一篇：一种用于接触孔图形设计的光学邻近修正的方法
