[发明专利]紫外球面微通道板光子计数成像探测器无效
申请号: | 201410029500.8 | 申请日: | 2014-01-22 |
公开(公告)号: | CN103792004A | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 尼启良 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;G01J1/44 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种紫外球面微通道板光子计数成像探测器,包括:置于真空壳体内,由上至下设置的光电阴极、微通道板、位置灵敏阳极;置于真空壳体前端的输入窗;置于真空壳体后端的带有金属输出电极的金属输出窗;以及置于真空壳体外部的位置读出电路和计算机图像输出电路;所述输入窗、与真空壳体、金属输出窗封接为一体形成真空气密的结构;所述输入窗的内表面上镀有一层能透射紫外线的导电薄膜,所述的光电阴极制作于该导电薄膜上;所述输入窗及微通道板为曲率半径相同的凸球面形状。本发明可减小大视场成像系统的球差,提高系统的成像质量;作为单光子计数探测器,本发明具有单光子灵敏度;同时紫外阴极具有很低的暗噪声。 | ||
搜索关键词: | 紫外 球面 通道 光子 计数 成像 探测器 | ||
【主权项】:
一种紫外球面微通道板光子计数成像探测器,其特征在于,包括:置于真空壳体(4)内,由上至下设置的光电阴极(2)、微通道板(3)、位置灵敏阳极(5);置于真空壳体(4)前端的输入窗(1);置于真空壳体(4)后端的带有金属输出电极的金属输出窗(6);以及置于真空壳体(4)外部的位置读出电路(7)和计算机图像输出电路(8);所述输入窗(1)、与真空壳体(4)、金属输出窗(6)封接为一体形成真空气密的结构;所述输入窗(1)的内表面上镀有一层能透射紫外线的导电薄膜,所述的光电阴极(2)制作于该导电薄膜上;所述输入窗(1)及微通道板(3)为曲率半径相同的凸球面形状。
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