[发明专利]用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法

摘要

一种用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法，该方法包括下列步骤：测量入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L；计算衍射光学元件中位相单元的尺寸l；依据入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L，确定衍射光学元件中一个设计单元的周期d；等间隔采样所需远场光强分布，并计算远场振幅分布矩阵A_out；计算设计所需的入射光振幅分布矩阵A_in；采用盖师贝格-撒克斯通算法设计一个设计单元的位相分布矩阵；将周期化得到完整的衍射光学元件位相分布矩阵；评估所设计的衍射光学元件的准分子激光光束整形性能。本发明设计的衍射光学元件具有对入射光束的位置、尺寸形状与光强分布变化不敏感，远场光强分布均匀的特点。

主权项

1.一种用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①测量入射到衍射光学元件（3）的光束的空间相干长度L；②计算衍射光学元件（3）中位相单元的尺寸l；③依据入射到衍射光学元件（3）的光束的空间相干长度L，确定衍射光学元件（3）中一个设计单元（301）的周期d；④等间隔采样所需远场光强分布，并计算远场振幅分布矩阵A_out；⑤计算设计所需的入射光振幅分布矩阵A_in；⑥采用盖师贝格-撒克斯通算法设计一个设计单元（301）的位相分布矩阵；⑦将周期化得到完整的衍射光学元件（3）的位相分布矩阵；⑧评估所设计的衍射光学元件（3）的准分子激光光束整形性能。