[发明专利]用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜及其微器件的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜及其微器件的制备方法。一种热塑性强、玻璃转变温度低、平整度高、耐腐蚀的镧基金属玻璃薄膜，该系合金的结构式为La_100-x-yCo_xAl_y，其中x为Co元素的原子百分数，y为Al元素的原子百分数，5≤x≤35，5≤y≤35，25≤x+y≤50在锆吸附的氩气电弧中电弧熔炼四次以上，获得混合均匀的合金块体，最后利用线切割得到符合镀膜要求的靶材，利用直流磁控溅射，获得所需厚度的金属玻璃薄膜。用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜微器件，获得的具有偏振不敏感特性的二维亚波长透射光栅滤波片，光栅单元为凸起正方形阵列，高度200nm，正方形阵列周期240nm，正方形边长120nm，具有对入射光偏振不敏感特性，可以提高入射光的透射率，实现对蓝光的筛选。

主权项

一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜，其特征在于：结构式为La_100‑x‑yCo_xAl_y, 其中x为Co元素的原子百分数，y为Al元素的原子百分数，5≤x≤35,5≤y≤35，25≤x+ y≤50，玻璃转变温度为140℃‑240℃,平整度小于两个光圈，粗糙度小于0.5nm，耐腐蚀的三元镧基金属玻璃薄膜。