[发明专利]一种P型晶体硅太阳能电池的钝化层及其钝化工艺无效
申请号: | 201410031066.7 | 申请日: | 2014-01-23 |
公开(公告)号: | CN103746007A | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
发明(设计)人: | 李爱丽;刘吉人;万资仁;唐维泰;余钦章;李文艳;罗伟;潘若宏;张志红 | 申请(专利权)人: | 通用光伏能源(烟台)有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/18 |
代理公司: | 烟台双联专利事务所(普通合伙) 37225 | 代理人: | 梁翠荣 |
地址: | 265500 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种P型晶体硅太阳能电池的钝化层及其钝化工艺,钝化层是由氧化铒构成。其钝化工艺为在晶体硅电池的制作中,当P型晶体硅完成沉积减反射膜工序后,先在P型晶体硅衬底背光面的P型一侧沉积氧化铒钝化层,然后进行退火处理,在钝化层与P型晶体硅衬底背光面的P型一侧之间形成SiO2缓冲层,完成钝化层的制备。本发明采用氧化铒作为晶硅电池钝化层,能提高晶格匹配度,从而降低晶硅表面的缺陷态密度,提高钝化效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 太阳能电池 钝化 及其 工艺 | ||
【主权项】:
一种P型晶体硅太阳能电池的钝化层,其特征是该钝化层是由氧化铒构成。
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