[发明专利]等离子体处理腔室部件的温度受控窗有效
| 申请号： | 201410040141.6 | 申请日： | 2014-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN103974518B | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 马特·布舍;亚当·梅斯;迈克尔·康;艾伦·龙尼 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;G05D23/22 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体处理腔室部件的温度受控窗，具体地，一种电感耦合等离子体处理腔室的温度受控介电窗包括介电窗，所述介电窗形成所述等离子体处理腔室的顶壁，所述介电窗中具有至少第一和第二通道。液体循环系统包括在不与通道流体连通的第一闭环中循环的冷液体源、在与通道流体连通的第二闭环中循环的热液体源以及第一和第二换热器。冷液体以可控流速通过第一换热器，并且随着热液体通过第一换热器且然后通过第一通道的入口而通过与冷液体进行换热来调节热液体的温度。冷液体以可控流速通过第二换热器，并且随着热液体通过第二换热器且然后通过第二通道的入口而通过与冷液体进行换热来调节热液体的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 部件 温度 受控 | ||
【主权项】：
1.一种电感耦合等离子体处理腔室的温度受控介电窗，其包括：形成所述等离子体处理腔室的顶壁的介电窗，该介电窗中具有至少第一和第二通道，所述第一和第二通道中的每一个都具有使温度受控液体在所述通道中循环的入口和出口；以及液体循环系统，其具有在不与所述通道流体连通的第一闭环中循环的冷液体源、在与所述通道流体连通的第二闭环中循环的热液体源，以及至少第一和第二换热器；所述第一换热器连接至所述冷液体源、所述热液体源和所述第一通道的入口，以使冷液体以可控流速通过所述第一换热器并且随着热液体通过所述第一换热器且随后通过所述第一通道的入口而通过与冷液体进行换热来调节热液体的温度；所述第二换热器连接至所述冷液体源、所述热液体源和所述第二通道的入口，以使冷液体以可控流速通过所述第二换热器并且随着热液体通过所述第二换热器且随后通过所述第二通道的入口而通过与冷液体进行换热来调节热液体的温度。
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