[发明专利]电容器结构有效
申请号: | 201410041396.4 | 申请日: | 2014-01-28 |
公开(公告)号: | CN103985702B | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 郑喆浩 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64;H01L25/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 屈玉华 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了电容器结构。该电容器结构包括在水平延伸方向上延伸的基板。第一栅极绝缘膜在基板上,第一栅极图案在第一栅极绝缘膜上。第一指形电极在第一栅极图案上,第二指形电极在第一栅极图案上并与第一电极交替地设置以在水平方向上与第一电极间隔开。第一电极连接到第一栅极图案,第二电极和第一栅极图案彼此绝缘。 | ||
搜索关键词: | 电容器 结构 | ||
【主权项】:
一种电容器结构,包括:基板;第一栅极绝缘膜,在所述基板上;第一栅极图案,在所述第一栅极绝缘膜上;指形的第一电极,在所述第一栅极图案上;以及指形的第二电极,在所述第一栅极图案上并与所述第一电极交替地设置以在水平方向上与所述第一电极间隔开,其中所述第一电极连接到所述第一栅极图案,并且其中所述第二电极和所述第一栅极图案彼此绝缘。
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