[发明专利]一种用于加工硬脆基板的激光打孔装置无效
| 申请号： | 201410042020.5 | 申请日： | 2014-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103785955A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 陈强智 | 申请（专利权）人： | 深圳英诺激光科技有限公司;常州英诺激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/064 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 李新林 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于加工硬脆基板的激光打孔装置，其中的激光头是Q开关激光器，楔角棱镜与驱动装置固定连接，并且楔角棱镜的出光面为斜面，驱动装置开设有导光孔，驱动装置绕导光孔的轴心线转动，激光头发出的激光脉冲通过导光孔传输至楔角棱镜，并且经过楔角棱镜折射后，依次通过第一反射镜和聚焦镜传输至硬脆基板。其中，该激光打孔装置采用Q开关激光器作为激光源，避免因热应力过大造成硬脆基板碎裂，同时，无需在硬脆基板上涂覆PVA，简化了加工工序，提高了加工效率，此外，通过带有导光孔的驱动装置带动楔角棱镜旋转，令其转动过程更加稳定，避免激光打孔轨迹的偏移，实现了精确加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 加工 硬脆基板 激光 打孔 装置 | ||
【主权项】：
一种用于加工硬脆基板的激光打孔装置，其特征在于，包括有激光头，沿激光头发出的激光脉冲的传输方向依次设置有驱动装置、楔角棱镜、第一反射镜、聚焦镜和载台，硬脆基板放置于载台上，所述激光头是Q开关激光器，所述楔角棱镜与驱动装置固定连接，并且楔角棱镜的出光面为斜面，所述驱动装置开设有导光孔，在驱动装置的带动下，所述楔角棱镜绕导光孔的轴心线转动，所述激光头发出的激光脉冲通过导光孔传输至楔角棱镜，并且经过楔角棱镜折射后，依次通过第一反射镜和聚焦镜传输至硬脆基板。
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