[发明专利]表面颗粒检测仪量测平台有效
| 申请号： | 201410042488.4 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103745943A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 秦贵明;裴雷洪;俞玮 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种表面颗粒检测仪量测平台，包括：定子结构，呈凹型设置，并在所述定子结构之凹槽内形成所述转子结构之容置空间，且在所述定子结构之凹槽的边沿臂内设置所述导电线圈、第一传感器和偏载磁体；转子结构，悬浮设置在所述定子结构之凹槽内，且在所述定子结构之磁力作用下发生转动；支撑体，设置在所述转子结构之一侧，并用于承载所述待量测之晶圆；第二传感器，间隔设置在所述定子结构之底部。本发明通过设置定子结构和磁悬浮设置在所述定子结构内的转子结构，且在所述转子结构上通过所述承载体承载所述待量测晶圆，不仅有效的避免了所述待量测晶圆的翘曲变形和背面脏污造成真空失效导致的当机，而且提高生产效率，延长设备的正常生产时间。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 颗粒 检测 仪量测 平台 | ||
【主权项】：
一种表面颗粒检测仪量测平台，其特征在于，所述表面颗粒检测仪量测平台包括：定子结构，呈凹型设置，并在所述定子结构之凹槽内形成所述转子结构之容置空间，且在所述定子结构之凹槽的边沿臂内设置所述导电线圈、第一传感器和偏载磁体；转子结构，悬浮设置在所述定子结构之凹槽内，且在所述定子结构之磁力作用下发生转动；支撑体，设置在所述转子结构之异于所述定子结构一侧，并用于承载所述待量测之晶圆；第二传感器，间隔设置在所述定子结构之底部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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