[发明专利]一种用于制备平面TEM样品的样品座在审
| 申请号： | 201410042506.9 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103743609A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 孙蓓瑶 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于制备平面TEM样品的样品座，包括：样品座本体，为导电性材质制备，并进一步包括底板和呈面向设置在所述底板上的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板之间形成用于收容所述平面TEM样品的容置槽；锁固孔，间隔设置在所述样品座本体之第一侧板和第二侧板上；锁固件，穿设在所述锁固孔内。本发明通过在所述容置槽内设置所述平面TEM样品，并通过穿设在锁固孔内的所述锁固件固定，使得所述平面TEM样品与所述样品座电性接触，不仅有效避免在所述平面TEM样品上形成表面电荷累积，防止所述平面TEM样品在制备过程中发生漂移，改善样品制备的质量和效率，而且克服因碳导电胶或铜导电胶带脱气对FIB机台腔体造成的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 平面 tem 样品 | ||
【主权项】：
一种用于制备平面TEM样品的样品座，其特征在于，所述用于制备平面TEM样品的样品座包括：样品座本体，为导电性材质制备，并进一步包括底板和呈面向设置在所述底板上的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板之间形成用于收容所述平面TEM样品的容置槽；锁固孔，间隔设置在所述样品座本体之第一侧板和第二侧板上；锁固件，穿设在所述锁固孔内，并用于将所述平面TEM样品锁固在所述样品座本体上。
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