[发明专利]内置多探针模块及其具有该模块的探针台在审
| 申请号： | 201410042508.8 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103760391A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李雨凡;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种内置多探针模块，包括：底座，所述底座上设置电气测试用印刷电路板和焊接位；探针，所述探针活动设置在所述底座上，并可根据所述待测试器件之结构调整所述探针在所述底座上的位置排布。一种具有内置多探针模块之探针台，所述内置多探针模块设置在用于放置所述待测试器件的卡盘上方。本发明可根据所述待测试器件之测试需求，调整所述内置多探针模块，以形成不同类型之探针卡，避免频繁手动更换探针卡导致测试效率低下，以及人为操作之风险等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 内置 探针 模块 及其 具有 | ||
【主权项】：
一种内置多探针模块，其特征在于，所述内置多探针模块包括：底座，所述底座上设置电气测试用印刷电路板和焊接位；探针，所述探针活动设置在所述底座上，并可根据所述待测试器件之结构调整所述探针在所述底座上的位置排布。
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