[发明专利]镜调整方法及镜调整装置

摘要

本发明提供一种镜调整方法及镜调整装置。基于第一镜（21）的倾角为初始值时以及将第一镜（21）的倾角从初始值向正负方向移动了预定值时的第一镜（21）的倾角、第二镜（22）的倾角以及激光输出，计算对应于第一镜（21）的倾角的激光输出的第一近似曲线、对应于第二镜（22）的倾角的激光输出的第二近似曲线，将相当于第一近似曲线的极大值的值设定为第一镜（21）的倾角，并且将相当于第二近似曲线的极大值的值设定为第二镜（22）的倾角。

主权项

一种镜调整方法，其对镜调整装置(10)的第一镜(21)及第二镜(22)的倾角进行调整，所述镜调整装置具备：至少具备所述第一镜及所述第二镜的激光振荡器(2)；测定来自该激光振荡器的激光输出的激光输出测定部(25)；调整所述第一镜的倾角的第一调整部(51)；以及调整所述第二镜的倾角的第二调整部(51’)，所述镜调整方法的特征在于，在由所述第一调整部将所述第一镜的倾角设定为初始值的状态下，将由所述第二调整部调整为使得由所述激光输出测定部测定的所述激光输出为最大值的所述第二镜的倾角、所述第一镜的倾角和所述激光输出的所述最大值作为第一组进行存储；在由所述第一调整部将所述第一镜的倾角从初始值向正方向变更了预定值的状态下，将由所述第二调整部调整为使得由所述激光输出测定部测定的所述激光输出为最大值的所述第二镜的倾角、所述第一镜的倾角和所述激光输出的所述最大值作为第二组进行存储；在由所述第一调整部将所述第一镜的倾角从初始值向负方向变更了预定值的状态下，将由所述第二调整部调整为使得由所述激光输出测定部测定的所述激光输出为最大值的所述第二镜的倾角、所述第一镜的倾角和所述激光输出的所述最大值作为第三组进行存储；基于所述第一组、所述第二组和所述第三组，计算对应于所述第一镜的倾角的所述激光输出的第一近似曲线和对应于所述第二镜的倾角的所述激光输出的第二近似曲线，由所述第一调整部将所述第一镜的倾角设定为相当于所述第一近似曲线的极大值的值，由所述第二调整部将所述第二镜的倾角设定为相当于所述第二近似曲线的极大值的值。