[发明专利]研磨装置在审
| 申请号： | 201410043701.3 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103962937A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 河原俊一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 梅高强;刘煜 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种研磨装置(100)，具有：研磨台(110)，其贴附有用于研磨基板(102)的研磨垫(108)；液体供给部，其将液体供给到研磨垫(108)的研磨面；顶环(116)，对夹着由液体供给部供给的液体而接触于研磨面的基板(102)进行吸附并从研磨面输送该基板；以及控制部，其在输送基板(102)时，使流体(N2)注入基板(102)与研磨垫(108)之间夹有液体(109)的内部区域(109a)。采用本发明，能够在维持基板的研磨性能的状态下提高基板的提起性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，其特征在于，具有：研磨台，该研磨台贴附有用于研磨基板的研磨垫；液体供给部，该液体供给部将液体供给到所述研磨垫的研磨面上；基板保持部，该基板保持部吸附基板，并从所述研磨面对所述基板进行输送，所述基板夹着由所述液体供给部供给的液体而接触于所述研磨面；以及控制部，在输送所述基板时，该控制部使流体注入所述基板与所述研磨垫之间。
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