[发明专利]一种测校长程电机导轨非正交性方法有效
| 申请号： | 201410043858.6 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN104807399B | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 唐彩红 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测校长程电机导轨非正交性方法，通过测量导轨安装的非正交性，易于操作，简单方便；以干涉仪坐标系为基准，测量编码尺坐标系相对干涉仪坐标系的增益和非正交性，提高测量精度；当干涉仪坐标系相对理想坐标系的非正交和增益变化时，编码尺坐标系也可以实时变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校长 电机 导轨 正交 方法 | ||
【主权项】：
一种测校长程电机导轨非正交性方法，其特征在于，包括：步骤一：将定位台Y向的伺服测量系统设置为编码尺，X向伺服测量系统设置为干涉仪；步骤二：将定位台沿X向运动，其余自由度均设为零；步骤三：在运动过程中采样获取X向编码尺读数、X向干涉仪读数以及Y向干涉仪读数；步骤四：根据X向编码尺读数和X向干涉仪读数，拟合计算编码尺坐标系X向相对干涉仪坐标系X向的增益；同时根据X向干涉仪读数和Y向干涉仪读数，拟合计算编码尺坐标系X向相对干涉仪坐标系X向之间的夹角；步骤五：将定位台Y向的伺服测量系统设置为干涉仪，X向伺服测量系统设置为编码尺；步骤六：将定位台沿Y向运动，其余自由度均设为零；步骤七：在运动过程中采样获取Y向编码尺读数、Y向干涉仪读数以及X向干涉仪读数；步骤八：根据Y向编码尺读数和Y向干涉仪读数，拟合计算编码尺坐标系Y向相对干涉仪坐标系Y向的增益；同时根据Y向干涉仪读数和X向干涉仪读数，拟合计算编码尺坐标系Y向相对干涉仪坐标系Y向之间的夹角，即可获取所述导轨的非正交性。
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